[에너지타임즈 장효진 기자] 대표적인 지구온난화 물질인 육불화황(SF6)을 고온 열분해 하는 기술이 국내에서 개발돼 현장에 성공적으로 적용됐다.

육불화황은 반도체, LCD 공정 등에서 배출되는 지구온난화물질로, 이산화탄소 보다 2만3900배(동일량 기준)나 미치는 영향이 큰 것으로 알려졌다. 하지만 배출허용기준이 정해져 있지 않아 대부분 별도 처리 없이 대기 중으로 방출돼 왔다.

세이브기술(주)에서 개발한 ‘대용량 육불화황(SF6) 및 불화가스 고효율 직화 열분해기술’은 1250~1350℃의 고온의 반응기 내에서 육불화황을 열분해한 후 급속 냉각해 제거하는 것으로 다이옥신과 같은 2차 오염물질 생성 우려가 없다.

또한 대용량(30㎥/min이상)의 육불화황 처리가 가능할 뿐만 아니라, 온도 조건에 따라 95% 이상의 육불화황 제거가 가능한 것이 특징이다.

현재 구미 LG디스플레이 공장에 적용돼 성공적으로 운영 되고 있는 것으로 나타났으며, 세이브기술과 LG디스플레이는 육불화황 감축 실적을 CDM 사업으로 추진, 관련 절차를 진행 중인 것으로 전해졌다.

한편 한국환경산업기술원(원장 김상일)은 이 기술을 녹색기술로 인증했다고 19일 밝혔다.

김용국 실장은 “육불화황 열분해 기술은 국내 최초로 실제 현장에 적용돼 안정적인 처리성능이 입증됐다는 점에서 기술적 가치가 있다”며 “향후 반도체 등 관련 분야로의 확대 적용 가능성이 높고, 지구온난화 물질의 제거라는 측면에서 녹색성이 크게 인정돼 녹색기술로 인증했다”고 말했다.