전기연구원, 1200V급 Sic 전력반도체 상용화
전기연구원, 1200V급 Sic 전력반도체 상용화
  • 김진철 기자
  • kjc@energytimes.kr
  • 승인 2014.01.23 21:58
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고온·고에너지 이온주집 공정기술 등 최신 기술 탑재
한국전기연구원(원장 김호용)이 그린카와 신재생에너지용 인버터에 적용 가능한 1200V급 실리콘 카바이드 전력반도체(MOSFET) 2종을 세계에서 세 번째로 상용화에 성공했다고 지난 23일 밝혔다.

국산화에 성공한 이 반도체는 고온·고에너지 이온주집 공정기술과 낮은 접촉저항형성 공정기술, 고품질 질화처리 게이트산화막 형성, 패시베이션 기술 등을 탑재하고 있다.

이와 관련 전기연구원은 1999년부터 Sic 전력반도체 개발에 나서 현재 관련 특허 40여건을 보유하고 있지만 Sic 전력반도체는 일부 선진기업도 최근에 상용화 할 만큼 설계와 공정이 매우 까다로운 것으로 알려져 있다.

현재 전 세계 전력반도체 시장은 170억 달러 규모로, 이중 Sic 전력반도체 시장은 양산업체 증가와 그린카 수요에 힘입어 앞으로 20억 달러까지 성장할 것으로 전망되고 있다.

김상철 전기연구원 책임연구원은 “선진국이 기술이전을 꺼리는 전략분야에서 순수 국내기술로 세계 3번째로 상용화기술을 확보했다는데 큰 의의가 있다”고 설명했다.

한편 전기연구원과 메이플세미컨덕터는 공정최적화와 신뢰성 검증 등을 거쳐 내년부터 1200V 10A, 40A Sic Power MOSFET를 양산해 2016년 200억 원의 신규매출을 올릴 계획이다.

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