【에너지타임즈】 한국전력공사(사장 김종갑)가 폐기된 개폐기·변압기에서 나오는 SF6가스를 회수해 재사용하는 SF6가스정제장치를 개발했다고 9일 밝혔다.
SF6가스는 지구온난화 주범인 온실가스 중 하나로 전기절연성 특성으로 고전압 전력기기 절연매체로 사용되며 반도체 생산 공정에서는 웨이퍼에 불필요한 부분 식각공정에 사용되고 있다.
특히 개폐기·변압기 절연용도로 활용되는 SF6가스는 이산화탄소를 기준으로 다른 온실가스가 얼마나 지구를 온난화하는 능력이 있는지 나타내는 지표인 지구온난화지수가 이산화탄소의 2만3900배나 되는 것으로 알려지고 있다.
이 장치는 영하 100℃에서 SF6가스는 고체, 나머지 가스는 기체로 존재하는 특성을 이용해 기체를 배출시켜 고순도 SF6가스만 회수해 이를 전력설비에 재활용할 수 있는 기술을 이용해 개발됐다.
한전 관계자는 “연간 10톤 분량으로 폐기되는 전력설비에서 SF6가스를 회수해 정제하고 재사용하면 SF6가스 구입예산절감뿐만 아니라 온실가스 감축에 크게 기여할 것”으로 내다봤다.
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